این مسجد که بنای آن در دوره سلجوقی شکل گرفته، طبق منابع تا اوایل دوره صفوی نیز آباد بوده است. اگرچه مسجد در دوره حمله مغول آسیب بسیار دید، در دوره ایلخانی مرمت شده است. به نظر میرسد آنچه سبب از بین رفتن بیشتر مسجد شد وقوع زلزله در این محل بوده است. در سال ۱۳۶۷ خورشیدی تحقیقات باستانشناسی در اطراف مسجد انجام شد و بخشی از تاریخ شکلگیری و توسعه و مرمت بنا را مشخص کرد.